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THERMAL SPRAY COATING

용사코팅사업부

사업소개
용사코팅사업부

THERMAL SPRAY COATING

동양엠더블유 주식회사
용사코팅사업부

용사코팅기술의 중요한 이유는 코팅층이 손상되어도 모재의 손상을
방지해 후에 재사용 가능하도록 하기 위함입니다.

Coating 기술 및 주요 요소로는 고온의 열에너지를 고속으로 모재에 충돌시켜 세밀하고 치밀한 Coating피막을 형성하는 기술,
Coating Layer 기공률 최소화, Melted Particle 최소화, No Contamination, Substrate와 접착력 확보가 있습니다.

Atmosphere Plasma Spray Coating
APS Coating Infra
Plasma Spray Coating Performance
APS Coating Surface Image - SEM

Atmosphere Plasma
Spray Coating

  • 대기압 조건에서 고온 플라즈마 형성

  • 용사코팅 재료 노출 상 변화 응용

  • 최적의 조건TN으로 표면에 증착하는 방법

대기압 플라즈마 스프레이
코팅 과정

APS Coating Infra

  • APS Coating System 13대 보유

  • APS Coating Line 300平

  • Cleaning Line 50平(Clean Room 포함)

용사코팅사업부 시설현황

  • Cleaning Manufacturing Line(50平)

    • Clean Room 보유
    • 세정기술: Wet Cleaning, Dry Cleaning.
    • 제조기술: Contamination Removal, Particle Control
    • 세정품목: 반도체부품 외 디스플레이부품
    • Cleaning Material : Ceramic, Si, Quartz, SIC, SUS, AL 등

  • Plasma Coating Manufacturing Line(300平)

    • 제조분야: 반도체디스플레이부품(내식성, 내플라즈마 필요부품)
    • 코팅제조설비: 플라즈마용사 13대 보유
    • 코팅사이즈: 반도체부품 외 디스플레이부품 10.5세대
    • 코팅품목: Shield류, Shower Head류, Ring류, 코팅사용 전 품목가능
    • 코팅납기: 고객협의 단 납기가능

Technical Knowhow

반도체, 디스플레이 상용화 국산 분말 제조 및 이를 이용한 플라즈마 용사
코팅으로 수천 여종의 코팅 실적 & Knowhow 보유

Technical Knowhow

반도체, 디스플레이 상용화 국산 분말 제조 및 이를 이용한 플라즈마 용사
코팅으로 수천 여종의 코팅 실적 & Knowhow 보유

Plasma Spray Coating Performance

Plasma Spray Coating
Performance

Pure Y2O3 Coating

ㆍMelting이 우수하고 Particle 저감 효과

Y2O3-Z Coating - 분말특허보유

ㆍ내플라즈마와 내화학성에 우수하여 RF Power High 공정에 유리

YAG Coating

ㆍ초기 Back-Up 및 RF Power Low 공정에 유리함

Y2O3 PTP20 Coating

ㆍ초기 Back-Up 및 Particle 감소효과

Y2SiO5 Coating

ㆍ초기 Back-Up 단축 및 RF Power Low 공정에 유리함

High Rough Coating - 특허보유

ㆍ표면적 증가와 거칠기로 Run time과 Particle 흡착에 우수